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道康寧成為半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝關(guān)鍵前體六氯乙硅烷的全球領(lǐng)先供應(yīng)商
2014-07-21         
美國密歇根州米德蘭市——全球領(lǐng)先的有機(jī)硅、硅基技術(shù)與創(chuàng)新企業(yè)道康寧今天宣布其已成功提升六氯乙硅烷(HCDS)產(chǎn)品的產(chǎn)能,目前正與美國當(dāng)?shù)丶叭蚍秶鷥?nèi)的經(jīng)銷商開展密切合作,以確保為分布在全球的現(xiàn)有及潛在客戶提供高效安全的產(chǎn)品。作為一種高純度前體產(chǎn)品,HCDS在多種高級(jí)薄膜淀積(半導(dǎo)體存儲(chǔ)和邏輯芯片制造技術(shù))工藝中發(fā)揮著至關(guān)重要的作用。此次產(chǎn)能提升不僅奠定了道康寧在全球半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝關(guān)鍵前體領(lǐng)先的供應(yīng)商地位,更為行業(yè)獲取優(yōu)質(zhì)HCDS產(chǎn)品提供了穩(wěn)定可靠的供應(yīng)渠道。
“在過去的幾十年中,道康寧和它的絕對(duì)控股企業(yè)Hemlock半導(dǎo)體集團(tuán)一直是全球半導(dǎo)體制造行業(yè)的理想供應(yīng)商,能夠?yàn)榭蛻籼峁└咂焚|(zhì)的特種氣體前體材料,如氯硅烷、甲基硅烷、甲硅烷等,”道康寧半導(dǎo)體材料業(yè)務(wù)部市場(chǎng)拓展經(jīng)理Ken Seibert說道?!敖裉?,我們承襲優(yōu)勢(shì),將領(lǐng)先的技術(shù)、專業(yè)的技能和豐富的經(jīng)驗(yàn)應(yīng)用到有害物質(zhì)的生產(chǎn)與處理工藝中,確保了具有高純度、高可靠性的HCDS產(chǎn)品能夠滿足全球客戶目前乃至將來的需求。”
借助大幅提升的產(chǎn)品產(chǎn)能,道康寧已可以滿足甚至超越整個(gè)行業(yè)對(duì)HCDS產(chǎn)品的需求。此外,公司的良好口碑及其對(duì)安全生產(chǎn)的堅(jiān)定承諾也有利于保證供應(yīng)鏈的穩(wěn)定性與可靠性。道康寧半導(dǎo)體材料業(yè)務(wù)部工藝工程經(jīng)理Michael Telgenhoff表示,“借鑒我們?cè)诩坠柰樯a(chǎn)工藝上的安全操作經(jīng)驗(yàn),道康寧為這個(gè)行業(yè)領(lǐng)先的HCDS產(chǎn)品仔細(xì)地審核了安全流程以及資源配置,從而最大限度地降低給我們員工、社區(qū)以及客戶帶來的風(fēng)險(xiǎn),并在全球范圍內(nèi)確保持續(xù)可靠的產(chǎn)品供應(yīng)?!?br /> HCDS是一種性能穩(wěn)定、揮發(fā)性低的濕度敏感型液體。該款產(chǎn)品可以在低溫工況中替代硅烷或二氯甲硅烷應(yīng)用于高品質(zhì)氧化硅與氮化硅薄膜的淀積生產(chǎn)工藝中
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